国家重点研发计划“面向Sub-7nm先进工艺节点集成电路核心器件的同步辐射表征技术及应用”项目2023年度总结暨工作进展推进会顺利召开
打印2024年1月27日，国家重点研发计划“大科学装置前沿研究”重点专项“面向 Sub-7nm 先进工艺节点集成电路核心器件的同步辐射表征技术及应用”项目2023年度总结暨工作推进会在上海召开。国家自然科学基金委员会高技术研究发展中心（基础研究管理中心）专项主管、项目咨询专家组、项目牵头单位负责人以及项目组成员20余人参加了会议。
该项目由中国科学院上海高等研究院（以下简称上海高研院）牵头，联合中山大学和南开大学等优势单位承担。
上海高研院副院长邰仁忠致欢迎词，中国科学院大学杨国强教授主持了年度进展汇报会议。项目负责人、上海高研院李爱国研究员就项目总体情况作了报告。四位课题负责人先后汇报了各课题2023年度的研究进展、取得的成果、指标完成情况、经费使用情况与下一阶段的工作计划。会议咨询专家针对各课题中已开展的工作和存在的问题进行了点评，为课题今后的实施方案提出了指导意见。
此次会议圆满落幕之后，将促进各单位之间形成更紧密的合作关系，充分发挥参与单位的协助优势，切实解决先进工艺节点集成电路核心器材的同步辐射表征技术及应用这一关键问题，助力我国 sub-7nm 先进工艺节点自主研发。
